成膜用DC電源 DPG-10/DPG-20
10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。【アルバック／ULVAC】
DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。 【仕様】 ○入力電圧 AC208V ○変動範囲 AC187 ～ 229V ○相数、周波数 3相 50/60Hz ○入力接続部 コネクタ接続 ○入力容量 13.5kVA以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
